8英寸「單片式硅外延生長(zhǎng)爐』
晶盛機(jī)電研發(fā)的8英寸單片式硅外延生長(zhǎng)爐，可兼容6英寸、8英寸硅晶片生長(zhǎng)，結(jié)構(gòu)可靠穩(wěn)定，有較好的膜厚和電阻均勻性
6英寸「碳化硅外延爐』
晶盛機(jī)電研發(fā)的6英寸碳化硅外延爐，可實(shí)現(xiàn)生長(zhǎng)過(guò)程自動(dòng)化控制，有較好的薄膜均勻性，兼容4英寸、6英寸外延片生長(zhǎng)，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，單片成本低
6英寸「立式碳化硅外延爐』
晶盛機(jī)電研發(fā)的6英寸立式碳化硅外延爐，可實(shí)現(xiàn)對(duì)4英寸、6英寸晶圓外延的生長(zhǎng)，成膜質(zhì)量?jī)?yōu)，工藝穩(wěn)定性好，生產(chǎn)效率有效提升
6英寸「雙片式碳化硅外延爐』
晶盛機(jī)電研發(fā)的6英寸雙片式碳化硅外延爐，與單片設(shè)備相比，單臺(tái)產(chǎn)能增加70%，單片運(yùn)營(yíng)成本降幅可達(dá)30%以上
8英寸「爐管』
晶盛機(jī)電研發(fā)的8英寸爐管，可同時(shí)對(duì)150片產(chǎn)品進(jìn)行加工，滿足多晶硅、退火等工藝需求，設(shè)備自動(dòng)化程度高，可對(duì)接工廠MES系統(tǒng)
12英寸「爐管』
晶盛機(jī)電研發(fā)的12英寸爐管，可同時(shí)對(duì)125片產(chǎn)品進(jìn)行加工，滿足多晶硅、退火等工藝需求，設(shè)備自動(dòng)化程度高，可對(duì)接工廠MES系統(tǒng)
先進(jìn)制程及功率半導(dǎo)體裝備（部分產(chǎn)品）
以CVD技術(shù)為核心，應(yīng)用于先進(jìn)制程、功率半導(dǎo)體的外延裝備
